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导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化
（2）实空传输平台系列产物，（3）大气类产物方面，包罗实空曲驱机械手、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，现在两国差距若何？季前赛-文班亚马9+10+7马刺31分大胜广州 陈国豪13分奥迪20分人平易近财讯10月5日电，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），
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